瑞士Safematic CCU-010 LV_SP-010磁控離子濺射鍍膜儀
瑞士Safematic電鏡制樣設(shè)備:CCU-010 LV_SP-010磁控離子濺射鍍膜儀
緊湊型、模塊化和智能化
CCU-010為一款結(jié)構(gòu)緊湊、全自動型的離子濺射和/或蒸發(fā)鍍碳設(shè)備,使用非常簡便。采用獨(dú)特的插入式設(shè)計(jì),通過簡單地變換鍍膜頭就可輕松配置為濺射或蒸鍍設(shè)備。在鍍膜之前和/或之后,可以進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)可輕松避免金屬和碳沉積之間的交叉污染。
離子濺射儀特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
?高性能離子濺射
?獨(dú)特的即插即用濺射模塊
?一流的真空性能和快速抽真空
?結(jié)構(gòu)緊湊、可靠且易于維修
?雙位置膜厚監(jiān)控裝置,可兼容不同尺寸的樣品
?先進(jìn)濺射頭可確保鍍膜質(zhì)量并延長連續(xù)運(yùn)行時(shí)間
巧妙的真空設(shè)計(jì)
模塊化的設(shè)計(jì)可將低真空單元很輕松地升級為高真空單元。特別選擇和設(shè)計(jì)的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時(shí)間。
濺射模塊 SP-010
濺射模塊,即插即用。
SP-010濺射模塊連續(xù)鍍膜時(shí)間長-非常適合需要較厚膜的應(yīng)用;可選多種濺射靶材。
SP-010是電子顯微鏡中精細(xì)顆粒貴金屬鍍膜的理想工具。對于極細(xì)顆粒尺寸鍍膜,推薦使用渦輪泵抽真空的CCU-010 HV鍍膜主體單元。
等離子刻蝕單元 ET-010
在對樣品進(jìn)行鍍膜之前或鍍膜之后,可以對樣品進(jìn)行等離子刻蝕處理。
RC-010手套箱應(yīng)用的遠(yuǎn)程控制軟件
◎基于window的遠(yuǎn)程控制軟件
◎創(chuàng)建和調(diào)用配方
可選多種樣品臺
CCU-010提供一個(gè)直徑不小于60mm的樣品臺,該樣品臺插入到高度可調(diào)且可傾斜的樣品臺支架上??蛇x其它樣品臺。
CCU-010 LV系列鍍膜儀版本
除了CCU-010 LV磁控離子濺射鍍膜儀之外,還可以選擇:
CCU-010 LV熱蒸發(fā)鍍碳儀;
CCU-010 LV離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀;
CCU-010 LV手套箱專用鍍膜儀。
所有CCU-010 LV版本均采用TFT觸摸屏操控,配方可編程,保證結(jié)果可重復(fù)。
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